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日本日立冷場發(fā)射掃描電鏡SEM的核心參數(shù)： 產(chǎn)品類型：落地式/傳統(tǒng)大型 電子槍種類：冷場發(fā)射 二次電子圖象分辨率：0.6 nm@15kV；0.7nm@1kV 放大倍數(shù)：20-2,000,000x 加速電壓：0.5-30kV（標(biāo)準(zhǔn)模式） 背散射電子圖像分辨率：nm